... ; высота - 600 мм; количество электродов токоподводящих (испарителей) - 3; остаточное давление в камере, Па (мм рт.ст.) - от 6,65•10-3 до 6,65•10-1 (от 5•10-5 до 5•10-3); состояние ...
... : время достижения предельного давления 2х10-3 Па при разогретом диффузиозном насосе и при охлаждении ... УНИП-700ДК, ВУ-700Д, Булат-3Т, Булат-6, FV1, Печь газовая с горелкой ГМГ-2А, ...
... Краткая характеристика: давление в камере - 6х10-4 Па; время достижения давления в камере без прогрева ... - 320 C град; частота вращения арматуры - 6...60 об/мин;
4.) Имплаз 1000 - ...